Elektronik & Halbleiter
Reine Druckluft für Elektronikfertigung, Halbleiterproduktion und Reinraum
In der Elektronik- und Halbleiterfertigung berührt Druckluft Leiterplatten, Substrate, Gehäuse und empfindliche Oberflächen – direkt oder indirekt. Öl, Partikel oder zu viel Feuchtigkeit beeinträchtigen dann Prozesse und Prüfergebnisse. Viele Linien laufen zudem im Mehrschichtbetrieb. Druckstabilität und Verfügbarkeit zählen deshalb genauso wie die geforderte Reinheitsklasse. Wir stimmen ölfreie Kompressoren und Druckluftaufbereitung auf die Anforderungen am Verbraucher ab.
Anforderungen an ölfreie Druckluft in der Elektronikfertigung
Ölfreie Kompressoren für Bestückung, Handling und Prüftechnik
Ölfreie Verdichtung statt nachträglicher Ölabscheidung
Wo ein Öleintrag aus dem Verdichtungsprozess vermieden werden soll, setzen wir auf Technologien ohne Schmierstoff im Verdichtungsraum. Die ölfreien Scrollkompressoren der SCROLLI-Baureihe liefern 100 % ölfreie Druckluft gemäß ISO 8573-1, Klasse 0 für Öl. Welche Druckluftqualität am Verbraucher ankommt, hängt darüber hinaus von der nachgeschalteten Aufbereitung und vom Zustand des Verteilnetzes ab. Beides bleibt Teil der Auslegung. Benötigen Sie die Nachweise zur Reinheitsklasse für Ihre Anwendung oder Ihr Audit, sprechen Sie uns an – wir stellen die passenden Unterlagen bereit.
Die SCROLLI-Baureihe (2,2 bis 15 kW) arbeitet vibrationsarm und verzichtet auf ein Ansaugregelmodul. Im Betrieb wird jede Umdrehung des Verdichters zur Erzeugung von Druckluft genutzt; Leerlaufstunden entfallen. Die größeren SCROLLI-Modelle bestehen aus mehreren Scrolleinheiten. Fällt ein Modul aus oder wird es gewartet, schaltet die Multilevel-Steuerung automatisch auf die verbleibenden Module um. Ob die Versorgung dabei ohne Einschränkung weiterläuft, hängt davon ab, ob deren Kapazität den aktuellen Luftbedarf deckt.
Bei größeren Volumenströmen kommen die wassereingespritzten Schraubenkompressoren der AQUARIUS-Baureihe (15 bis 75 kW) infrage. Auch sie verdichten ohne Öl im Verdichtungsprozess. Das eingespritzte Wasser kühlt den Verdichter und zirkuliert in einem internen Kreislauf; es stammt aus der Umgebungsluft, eine Frischwasserzufuhr ist nicht erforderlich. Die niedrigen Verdichtertemperaturen reduzieren die thermische Belastung.
Drucktaupunkt und Reinheitsklassen nach ISO 8573-1 festlegen
Ölfreie Verdichtung allein bestimmt die Druckluftqualität am Verbraucher nicht. ISO 8573-1 beschreibt die Reinheitsklassen getrennt nach Partikeln, Wasser und Öl – eine Anlage kann also für Öl die Klasse 0 erreichen und bei Feuchte oder Partikeln dennoch unzureichend sein. Der in der Druckluft enthaltene Wasserdampf kann kondensieren, wenn die Luft unter ihren Drucktaupunkt abkühlt. Partikel gelangen über die Ansaugluft ins System oder stammen aus dem Verteilnetz selbst – etwa als Abrieb, Korrosionsprodukte oder Ablagerungen aus Rohrleitungen, Schläuchen und Kupplungen.
Maßgeblich sind deshalb die geforderte Reinheitsklasse am Anwendungspunkt und die niedrigste Temperatur, die die Druckluft auf dem Weg dorthin erreicht. Ein am Kompressoraustritt gemessener Wert reicht für die Beurteilung allein nicht aus.
Druckluftaufbereitung: Trockner und Filter richtig kombinieren
Wir legen Trockner und Filter gemeinsam mit dem Kompressor aus. Für einen niedrigen Drucktaupunkt kommen Adsorptionstrockner infrage; für weniger kritische Bereiche kann ein Kältetrockner mit passenden Leitungsfiltern ausreichen. Welche Kombination sinnvoll ist, ergibt sich aus der Reinheitsklasse je Fertigungsbereich – Reinraum, Prüfplatz und allgemeine Pneumatik stellen selten dieselben Anforderungen.
Verfügbarkeit und Energiekosten im Dauerbetrieb
Elektronik- und Halbleiterfertigung läuft häufig über mehrere Schichten, während der Luftbedarf zwischen Rüstzeiten und Vollauslastung schwanken kann. Eine geeignete Drehzahl- oder Verbundregelung passt die erzeugte Luftmenge dem tatsächlichen Bedarf an und kann Leerlaufphasen reduzieren. Die jeweilige SCC-Steuerung zeigt wichtige Betriebsparameter und Wartungshinweise an; mit entsprechender Zusatzsoftware lassen sich geeignete Baureihen auch an eine Leitwarte oder mobile Endgeräte anbinden. Für die Planung des Aufstellorts ist unsere Checkliste zur Kompressorraumplanung ein guter Ausgangspunkt; den laufenden Betrieb begleiten wir mit einem passenden Wartungskonzept.
Wo ölfreie Druckluft in der Elektronik- und Halbleiterfertigung eingesetzt wird
Einsatzgebiete in der Elektronik- und Halbleiterfertigung
Welche ölfreien Kompressoren eignen sich für Elektronik und Halbleiter?
Unsere Lösungen für Elektronik und Halbleiter
Häufige Fragen zu ölfreier Druckluft in der Elektronikfertigung
ISO 8573-1 klassifiziert Druckluft getrennt nach Partikeln, Wassergehalt und Ölgehalt. Klasse 0 gibt es für jede dieser drei Kategorien; sie wird vom Anwender oder vom Gerätehersteller schriftlich spezifiziert und muss strengere Grenzwerte einhalten als Klasse 1. Zur Spezifikation gehört immer die Angabe, auf welche Verunreinigung sie sich bezieht – bei ölfrei verdichtenden Kompressoren ist das der Gesamtölgehalt. Wichtig ist deshalb, die drei Kennziffern zusammen zu betrachten: Eine ölfrei verdichtende Maschine sagt für sich genommen nichts über Restfeuchte oder Partikelgehalt am Verbraucher aus. Welche Kombination Ihre Anwendung benötigt und welche Nachweise wir dafür bereitstellen, klären wir gerne gemeinsam – sprechen Sie uns an.
Filter zur Abscheidung von Ölaerosolen sind Verschleißteile mit begrenzter Standzeit. Wird ein Wechsel versäumt, kann der Ölgehalt in der Druckluft steigen, ohne dass es sofort auffällt. Eine ölfreie Verdichtung vermeidet den Öleintrag aus dem Kompressor konstruktiv. Andere Verunreinigungen deckt sie jedoch nicht ab: Partikel aus der Ansaugluft und dem Rohrnetz sowie Feuchtigkeit müssen weiterhin durch geeignete Filtration und Trocknung beherrscht werden.
Der erforderliche Drucktaupunkt richtet sich nach der Anforderung am Verbraucher und nach der niedrigsten Temperatur, die die Druckluft auf dem Weg dorthin erreicht. Ein am Kompressoraustritt gemessener Wert reicht für die Beurteilung allein nicht aus. Sinnvoll ist es, die Anforderungen für jeden Fertigungsbereich festzulegen und die Aufbereitung darauf auszulegen.
Kältetrockner erreichen typischerweise Drucktaupunkte im Bereich weniger Grad über null und eignen sich für Bereiche ohne besondere Trockenheitsanforderung. Adsorptionstrockner erreichen deutlich niedrigere Drucktaupunkte und kommen dort infrage, wo Kondensat sicher ausgeschlossen werden muss – etwa bei Leitungsführung durch unbeheizte Bereiche oder bei besonders empfindlichen Prozessen. Häufig ist eine Kombination sinnvoll: Grundtrocknung für das Gesamtnetz, zusätzliche Trocknung für den kritischen Bereich.
Ja, mit dem Kompressortausch allein ist es jedoch häufig nicht getan. Ein Netz, das zuvor mit öleingespritzt erzeugter Druckluft betrieben wurde, kann Ölrückstände in Rohrleitungen, Schläuchen und Armaturen enthalten. Je nach Zustand und Reinheitsanforderung sind eine getrennte Leitungsführung, eine fachgerechte Reinigung oder der Austausch betroffener Abschnitte erforderlich. Ob ein separater Kreis oder die Umstellung des gesamten Netzes wirtschaftlicher ist, sollte vorab geprüft werden.
Ja. Wir ermitteln gemeinsam den Bedarf, stimmen Kompressor, Trockner und Filter aufeinander ab und begleiten den Betrieb mit einem passenden Wartungskonzept. Wie sich der Luftbedarf strukturiert erfassen lässt, zeigt unsere Schritt-für-Schritt-Anleitung zur Berechnung des Druckluftbedarfs.
Ihre Druckluftlösung für Elektronik und Halbleiter
Mit SCC air compressors entscheiden Sie sich für einen europäischen Hersteller mit starker Marktpräsenz, eigenen Niederlassungen in Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Spanien und Italien – und einem europaweiten Servicenetz mit über 460 Händlern.
- Höchste Qualität nach europäischen Standards: Alle Produkte werden nach EU-Normen gefertigt und in Deutschland getestet.
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Diese Kombination aus Qualität, Service und Verfügbarkeit macht SCC zu einem verlässlichen Partner für Industrieunternehmen in ganz Europa.
Reine und stabile Druckluft beginnt bei der Auslegung. Wir analysieren Ihren Bedarf, empfehlen geeignete ölfreie Kompressoren für die Elektronik- und Halbleiterfertigung und begleiten Sie von der Planung über die Druckluftaufbereitung bis zur Wartung. Für eine erste Einschätzung sind Angaben zu Luftbedarf, Reinheitsklasse und Drucktaupunkt am Verbraucher, Schichtmodell sowie bekannten Druckabfällen im Netz hilfreich. Gelten zusätzlich Reinraumanforderungen, finden Sie weitere Informationen bei unseren Lösungen für die Pharmaindustrie.